真空脫氣

對于真空鍍膜而言，脫氣工藝在提高產品品質上非常重要。

在樹脂薄膜基材上的鍍膜 ≠ 在玻璃基材上的鍍膜

● 在真空環境下，加入了等離子等熱因素后，會從樹脂薄膜里溢出擾亂氣體。

● 樹脂薄膜以及其表面的涂布層僅靠干燥工藝是無法徹底干燥徹底的。

    - 干燥工藝：有大氣壓影響。氣體無法充分釋出。

    - 鍍膜工藝：無大氣壓影響。氣體可充分釋出。

為高品質提供保障的脫氣工藝

● 脫氣工藝要點

 - 真空環境

 - 烘烤加熱

 - 動態搬送

舉例：ITO的品質改善

要制造高品質的ITO薄膜，必須對氧氣進行高精度的控制。

同時，從基材釋出的氣體，會成為外部因素擾亂氧氣控制。

通過鍍膜前的真空脫氣，可實現高品質，高良品率。　

真空脫氣裝置

● 加熱方式

- 非接觸式輻射加熱

- 接觸加熱（鍍膜筒加熱）

● 加熱器加熱長度

- 脫氣量的測量

- 溫度 ?加熱時間的見解

→　我司推薦的加熱器加熱長度

● 真空排氣

- 使用我司值得信賴的，業績充分的排氣方式。

- 所謂大量的釋出氣體（水蒸氣?聚合物）的處置方式。

● 動態搬送

- 在日本代表性的ITO鍍膜企業具有寬幅1.6m的真空脫氣設備業績。

- 該公司對其給予了品質改善的信任，視為絕對必須的生產工藝。

真空脫氣設備 : W30D 系列

磁控濺射 : W60S 系列

真空脫氣系統的基本技術參數

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